不活性ガス消火設備は、二酸化炭素、窒素、アルゴンなどの不活性ガスを放出して防護区画内の酸素濃度を低下させ（窒息効果）、水損を生じさせずに消火を行う設備です。 水と泡消火薬剤を混合して油火災等を覆う設備で、電気設備には水損が生じるため不適です。 ハロン等のハロゲン化物薬剤による化学的な負触媒効果で消火する設備です。 炭酸水素塩等の粉末消火剤を放射する設備で、電子機器内に粉末が付着し損害を与えます。